西安某半导体材料清理器研制厂,晶圆加工厂的时候中形成含硅、氟的个性化化工废水解决,设计构思清理企业规模1200吨/日。化工废水解决组成繁复,带有nm级硅小粒及氢氧化钠,傳統清理方式难于达到。
污水含量及源于
主要是危害物
:溶液硅(100-500nm粒度)、氟铁离子(200-300mg/L)、异丙醇
特征道工序
:晶圆刻蚀污污水 (45%)、CMP化学物质机戒抛光剂污污水 (40%)、装备清洗道路水(15%)
正确处理生产工艺标准流程
不断创新按照"化学反应沉淀自己+防化膜提取"新技术的路线:
钙盐沉积
:加药氯化钙除去氟阴阳离子(出现CaF2沉淀自己)
斜板沉淀池反应迟钝
:符合水解酸化池剂做到橡胶胶体部分硅脱稳
管式微滤
:0.1μm内径膜截流微细颗粒肥料
反渗系统软件
:脱盐率>98%,二手回提取率75%
化掉结晶体
:浓水段推动氟化物零释放
既定功效
氟化物渗透压:<8mg/L(降到发展中国家6级标准规范10mg/L)
硅含量:<5mg/L
我国水资源共享循环率:70%用以制冷塔补充水分
危险废弃物减药:化掉渣子量较普通的工艺抑制60%