某半导会产生公司因晶圆清理工作会产生含氨污水,排水量200吨/天。污清水中除化学需氧量外还包含氟化物和轻微天价属,外理难易大。位置直接排放条件想要化学需氧量<5mg/L,氟化物<3mg/L。
化工废水化学成分及来源地
晶圆的洗涤废水处理工艺(注意种类):含高锰酸盐指数200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀工艺流程废水处理:含微量分析铜、镍等天价属,pH值起伏大
CMP打磨废渣:含硅小粒及高锰酸盐指数
操作技术操作流程
进行"化学式凝固+膜提取+折点氯化"乐队组合工艺设计:
预处里
:加药系统CaCl2除氟,把握pH在7.5-8.
反渗透膜系统性
:取除0.01μm上面的粉末物
反渗入精提
:将高锰酸盐指数浓缩咖啡至1000mg/L上面的
折点氯化
:精度把握氯添加量,将氟化物生成为惰性气体
阴离子对调
:切实保障巨资属标准
终于治疗效果
化学需氧量稳定性<3mg/L,氟化物<1mg/L
巨资属分量少于检验限
水使用率达75%
污泥处理会产生量极大减少40%