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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为89英寸晶圆出产线配合的超注射用水整体,一天到晚生成含硅废气150吨。废气中虽无高价属,但硅纯度高易结渣,且电阻功率率需达到了18MΩ·cm方能化学工业废水治理 。本身治理 鑫霖环保没有办法提供新公布的《电子无线化学工业水危害物直接释放原则》(GB39731-2020)很直接释放最大限度。 化工废水组成性能 具体环保问题物 :溶液硅(200-300mg/L)、粒子硅(比表面积0.1-1μm) 特色耍求 :TOC<10μg/L,硼含氧量<5μg/L 水环境特征参数 :低水的电导率(<50μS/cm)但硅无机化合物特征非常复杂 加工处理方法步骤流程 不断创新主要采用"梯级膜区分+电去亚铁离子"組合流程: 微滤预办理 :1μm淘瓷膜电话拦截大粒状硅,通量持续80LMH 铝离子互换环氧树脂 :D201大孔树脂胶取舍性吸附物硅酸氧分子 中级RO系统化 :第一名段收购 率60%,2、段用到高脱硼膜部件 EDI电去阴离子 :工作电流导热系数2A/m²,持续性剔除残渣化合物 红外光谱灭菌 :254nm红外光谱线残留量40mJ/cm² 高技术创新举措 开发设计专用工具阻硅剂(有机酸胺类结合物),抑制膜的污染寿命3倍 EDI输出模块企业创新流道设计构思,硅除掉率升降至99.8% 免费在线硅解析仪(在测量範圍0.1-500μg/L)改变精准服务的控制 启动功效 经第3方测量: 总硅从280mg/L降落到0.05mg/L 硼含碳量从8μg/L降低0.3μg/L 系統回收公司率从原40%的提升至68% 膜更新时间间隔调长至5年,年正常运作成本投入减轻35%

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